激光共聚焦顯微鏡在OLED面板行業的應用

OLED顯示技術即有機發光二極管，采用非常薄的有機涂層材料和玻璃基板，當有電流通過時，這些有機材料就會發光。因此，OLED屏幕可以做的更加輕薄，可視角度更大，并且能夠顯著節省耗電量。

OLED 與LCD 有著本質上的區別，主要通過電場驅動有機半導體材料和發光材料通過過載流子注入和復合后實現發光。從本質上來說，就是通過ITO玻璃透明電極作為器件陽極，金屬電極作為陰極，通過電源驅動，將電子從陰極傳輸到電子傳輸層，空穴從陽極注入到空穴傳輸層，之后分遷移到發光層，二者相遇后產生激子，讓發光分子激發，經過輻射后產生光源。

NS3500激光共聚焦顯微鏡簡介

NS3500激光共聚焦顯微鏡廣泛地用于OLED行業，為了滿足測量的精度和測量范圍NS3500激光共聚焦顯微鏡不但可以支持非接觸測量，高精度測量，高分辨率，而且可以提供大范圍拼接能力。

相比較于普通的探針掃描儀，激光共聚焦顯微鏡有著更高的分辨率和測量精度。NS3500激光共聚焦顯微鏡采用的是針孔 成像技術，可以隔絕焦點外所有的信號，從而大大提高了圖像的分辨率，通過垂直移動物鏡，采用類似斷層掃面的方法，可以在短短幾秒鐘內獲得樣品的所有三維數據。因此根本不需要接觸樣品的表面。在進行測量之前也不需要對樣品進行預先處理，直接放到X,Y Stage上就可以進行測量，也不會損傷到樣品的表面。

NS3500激光共聚焦顯微鏡在OLED行業的應用案例

案例一

OLED顯示技術具有明顯的優勢，OLED屏幕厚度可以控制在1mm以內，而LCD屏幕厚度通常在3mm左右，并且重量更加輕盈。激光共聚焦顯微鏡可以測量OLED屏幕上的污染物，劃痕進行無損傷檢測，有助于對產品的質量把控。

案例二.

OLED面板上MLA（微透鏡陣列）的檢測

微透鏡陣列作為一類重要的微光學器件，具有許多*的光學性紙，通過調整形狀、焦距、排布、占空比等參數可以對入射光束進行擴散、整形。均勻、聚焦、成像等調制，實現特定的功能。

微透鏡的排列方式根據基底形式和有效占空比的需要可以有很多種，這里主要介紹正交排列和蜂窩排列。如下圖所示，微透鏡有效占空比，是指微透鏡所占面積與其整個陣列面積之比。正交排列的微透鏡陣列的占空比K可以表示為

利用激光共聚焦顯微鏡可以有效對微透鏡陣列的深度、排布、占空比進行檢測，有助于提高產品質量的把控。

結論

本文借助NS3500激光共聚焦顯微鏡對OLED制作流程中不同工序處理后地樣板進行測量研究，得到較好地表面形貌數據。激光共聚焦顯微鏡具備分辨率高，精度高，檢測速度快，無損等特點， 可以快速獲得樣品表面的三維信息。隨著OLED 工藝質量的提高，3D激光共聚焦顯微鏡必將成為OLED未來的主流。