激光共聚焦顯微鏡在OLED面板行業(yè)的應(yīng)用

OLED顯示技術(shù)即有機(jī)發(fā)光二極管，采用非常薄的有機(jī)涂層材料和玻璃基板，當(dāng)有電流通過時(shí)，這些有機(jī)材料就會(huì)發(fā)光。因此，OLED屏幕可以做的更加輕薄，可視角度更大，并且能夠顯著節(jié)省耗電量。

OLED 與LCD 有著本質(zhì)上的區(qū)別，主要通過電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)有機(jī)半導(dǎo)體材料和發(fā)光材料通過過載流子注入和復(fù)合后實(shí)現(xiàn)發(fā)光。從本質(zhì)上來說，就是通過ITO玻璃透明電極作為器件陽極，金屬電極作為陰極，通過電源驅(qū)動(dòng)，將電子從陰極傳輸?shù)诫娮觽鬏攲樱昭◤年枠O注入到空穴傳輸層，之后分遷移到發(fā)光層，二者相遇后產(chǎn)生激子，讓發(fā)光分子激發(fā)，經(jīng)過輻射后產(chǎn)生光源。

NS3500激光共聚焦顯微鏡簡(jiǎn)介

NS3500激光共聚焦顯微鏡廣泛地用于OLED行業(yè)，為了滿足測(cè)量的精度和測(cè)量范圍NS3500激光共聚焦顯微鏡不但可以支持非接觸測(cè)量，高精度測(cè)量，高分辨率，而且可以提供大范圍拼接能力。

相比較于普通的探針掃描儀，激光共聚焦顯微鏡有著更高的分辨率和測(cè)量精度。NS3500激光共聚焦顯微鏡采用的是針孔 成像技術(shù)，可以隔絕焦點(diǎn)外所有的信號(hào)，從而大大提高了圖像的分辨率，通過垂直移動(dòng)物鏡，采用類似斷層掃面的方法，可以在短短幾秒鐘內(nèi)獲得樣品的所有三維數(shù)據(jù)。因此根本不需要接觸樣品的表面。在進(jìn)行測(cè)量之前也不需要對(duì)樣品進(jìn)行預(yù)先處理，直接放到X,Y Stage上就可以進(jìn)行測(cè)量，也不會(huì)損傷到樣品的表面。

NS3500激光共聚焦顯微鏡在OLED行業(yè)的應(yīng)用案例

案例一

OLED顯示技術(shù)具有明顯的優(yōu)勢(shì)，OLED屏幕厚度可以控制在1mm以內(nèi)，而LCD屏幕厚度通常在3mm左右，并且重量更加輕盈。激光共聚焦顯微鏡可以測(cè)量OLED屏幕上的污染物，劃痕進(jìn)行無損傷檢測(cè)，有助于對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量把控。

案例二.

OLED面板上MLA（微透鏡陣列）的檢測(cè)

微透鏡陣列作為一類重要的微光學(xué)器件，具有許多*的光學(xué)性紙，通過調(diào)整形狀、焦距、排布、占空比等參數(shù)可以對(duì)入射光束進(jìn)行擴(kuò)散、整形。均勻、聚焦、成像等調(diào)制，實(shí)現(xiàn)特定的功能。

微透鏡的排列方式根據(jù)基底形式和有效占空比的需要可以有很多種，這里主要介紹正交排列和蜂窩排列。如下圖所示，微透鏡有效占空比，是指微透鏡所占面積與其整個(gè)陣列面積之比。正交排列的微透鏡陣列的占空比K可以表示為

利用激光共聚焦顯微鏡可以有效對(duì)微透鏡陣列的深度、排布、占空比進(jìn)行檢測(cè)，有助于提高產(chǎn)品質(zhì)量的把控。

結(jié)論

本文借助NS3500激光共聚焦顯微鏡對(duì)OLED制作流程中不同工序處理后地樣板進(jìn)行測(cè)量研究，得到較好地表面形貌數(shù)據(jù)。激光共聚焦顯微鏡具備分辨率高，精度高，檢測(cè)速度快，無損等特點(diǎn)， 可以快速獲得樣品表面的三維信息。隨著OLED 工藝質(zhì)量的提高，3D激光共聚焦顯微鏡必將成為OLED未來的主流。